● 無差分泵Z方向旋轉,保證在旋轉過程中不漏氣
● 液氮直接製冷,製冷效率更高
● X軸偏轉緊湊設計,性能更可靠
● Z軸運動低阻尼設計,使用更省力穩定.
● 采用進口交叉滾珠導軌,運動平穩,保證每軸運動的直線度,無偏擺,俯仰
● 可選Z軸恒力彈簧,消除外界壓力,使操作流暢
● 測微頭驅動,定量讀數,達到高的調整精度
五軸樣品操作台(Manipulator)
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